EDS能譜工作原理:
EDS能譜儀,又名顯微電子探針,是一種分析物質(zhì)元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線(xiàn),根據(jù)特征x射線(xiàn)的波長(zhǎng),定性與半定量分析元素周期表中Be以上的物質(zhì)元素,檢測(cè)流程包括電鏡樣品制備,上機(jī)操作分析,后提供成份分析譜圖與半定量成份組成比等數(shù)據(jù)。
EDS能譜主要用途:
1、EDS測(cè)試與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用,選定微小位置區(qū)域,探測(cè)元素成份與含量;
2、EDS測(cè)試是失效分析當(dāng)中對(duì)于微小痕量金屬物質(zhì)檢測(cè)的重要的檢測(cè)手段;
3、EDS測(cè)試是區(qū)分有機(jī)物與無(wú)機(jī)物的簡(jiǎn)便的手段,對(duì)于有機(jī)物只要發(fā)現(xiàn)檢出大量碳和氧元素,基本可以斷定含有大量有機(jī)物。
EDS能譜試驗(yàn)時(shí)間:
1、如果樣品不需要切片制樣,直接觀察對(duì)話(huà),那么電子顯微鏡制樣一般半個(gè)小時(shí)即可,上機(jī)觀察之前機(jī)器一定要保持真空工作狀態(tài),半小時(shí)內(nèi)可以得到圖像數(shù)據(jù)。一般可以隨來(lái)隨看。
2、需要用到液氮冷卻探頭,如果沒(méi)有加液氮,則需要一個(gè)小時(shí)時(shí)間來(lái)等待冷卻。
EDS能譜測(cè)試對(duì)樣品的要求:
樣品大小受真空室限制,一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。
極限:檢測(cè)極限,0.01%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般為1微米,束斑大小取決于電子束,與放大倍率有關(guān),放大倍率1000~10萬(wàn)倍,對(duì)于金屬樣品可以更高,對(duì)于非金屬等不導(dǎo)電的樣品可能只能做到5萬(wàn)倍。
EDS能譜測(cè)試要求:
對(duì)于非金屬樣品,為了提高放大倍率,需要鍍金,樣品原貌會(huì)有一定改變;
對(duì)于金屬樣品,不用鍍金就可以進(jìn)行元素分析;
EDS能譜測(cè)試特殊樣品:
對(duì)于液態(tài)、漂浮粉末、微絨類(lèi)樣品不能做EDS測(cè)試;
切片固封樹(shù)脂如果沒(méi)有完全固化也不能做,以免發(fā)生漏氣、漏夜、粘污等情況污染真空室。
EDS測(cè)試服務(wù)方式:
提供成份分析譜圖與半定量成份組成比等數(shù)據(jù)。
SEM&EDS在失效分析領(lǐng)域的應(yīng)用
PCB失效原因越來(lái)越多,在以前看起來(lái)難以發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題,現(xiàn)在可以用電子掃描顯微鏡與能譜(SEM&EDS)分析出來(lái)。PCB失效分析包括PCB在生產(chǎn)過(guò)程中的失效分析、PCB在SMT貼片過(guò)程中的失效分析、PCB在化學(xué)鎳金后可焊性不良分析,經(jīng)過(guò)電子掃描顯微鏡與能譜(SEM&EDS)分析能夠更好的幫助我們分析PCB在生產(chǎn)制作過(guò)程中發(fā)生失效的根本原因,從而達(dá)到找出問(wèn)題發(fā)生的根本原因以及預(yù)防問(wèn)題再次發(fā)生的目標(biāo)。